歐瑞康萊寶公司的DRYVAC系列螺桿式無油壓縮真空泵，專為真空應(yīng)用的特殊需求而開發(fā)，適用于太陽能、平板顯示、LED、加工工業(yè)等應(yīng)用。干式螺桿結(jié)構(gòu)的氣路短且簡單，工藝氣體在泵內(nèi)停留時間短，工藝氣體夾雜的粉塵顆粒等在泵內(nèi)沉積的可能性大大減小，提高了泵運行穩(wěn)定性。DRYVAC全系為水冷泵，尺寸非常緊湊，系統(tǒng)集成性好，方便與萊寶的WH/WSU/WAU系列羅茨泵集成為泵組。
主要技術(shù)參數(shù)：
    抽速：450～5000m3/h
    極限真空度：＜0.005mbar
    電機功率：11～30KW
    噪音：65dB(A)
    冷卻方式：水冷

主要特性及優(yōu)點：
1、泵為*密封結(jié)構(gòu)，對外只有無磨損的O圈靜密封，消除泄漏可能，適用于敏感性工藝。
2、尺寸緊湊，占地面積小高度低，進氣口三個方向可選，非常方便集成入整體系統(tǒng)/設(shè)備中。
3、優(yōu)化的螺桿/電機設(shè)計，使其成為目前市場上zui省電的螺桿泵，低于10mbar運行<7Kw(DV650)。
4、泵為變頻器控制，集成了溫度、排氣壓強、電流、吹掃氣壓力等監(jiān)控保護，提高運行可靠性。
5、水冷泵向環(huán)境散熱少，噪音低，操作簡單。
6、極少的維護保養(yǎng)需求和運行成本，zui大的可靠性、靈活性和系統(tǒng)正常運行時間。

典型應(yīng)用：
    薄膜太陽能——SiN, ZnO, α-Si/?-Si, CdTe, CIS/CIGS,,etc.

晶硅太陽能——PECVD,拉晶和鑄錠
    進出片室LL&ULL
    顯示器和玻璃鍍膜
    耐磨涂層技術(shù)

卷繞鍍

真空爐和熱處理

真空干燥

  電子束焊接
    空間模擬
    科研領(lǐng)域