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產(chǎn)品名稱: 日本愛發(fā)科油擴散真空泵 ULK 系列維修保養(yǎng)
產(chǎn)品時間: 2019-02-09
產(chǎn)品型號: ULK-04A ULK-06A ULK-10A
產(chǎn)品特點: ULVAC的ULK型油擴散泵運用了長年的研究成果與豐富的製造經(jīng)驗所設計而成的高臨界背壓小型高真空排氣泵。日本愛發(fā)科油擴散真空泵 ULK 系列維修保養(yǎng)
日本愛發(fā)科油擴散真空泵 ULK 系列維修保養(yǎng) 的詳細介紹
油擴散泵
ULK 系列
ULVAC的ULK型油擴散泵運用了長年的研究成果與豐富的製造經(jīng)驗所設計而成的高臨界背壓小型高真空排氣泵。日本愛發(fā)科油擴散真空泵 ULK 系列維修保養(yǎng)?
特點
- 設計為高臨界背壓。
- 單臺可以抽到?10-2 Pa (10-4 torr)，性能非常穩(wěn)定。
- 採用了羅茨法蘭口。(除了ULK-04A、06A)
- 清潔非常方便。(部品的分解也非常簡單)
- 具備輔助泵側(cè)的油液反流防止機構日本愛發(fā)科油擴散真空泵 ULK 系列維修保養(yǎng)?
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