英國愛德華edwards半導體iH160干式真空泵維修

概述

Edwards 高級半導體真空泵已經過現場應用證明，可以按照高工作標準運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產率，同時減小占地面積、降低運行成本，實現了高的可靠性和性能。
  
iH 系列為難以執行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。

應用

• 負載鎖
• 輸送
• 計量
• 平版印刷
• PVD 制程
• PVD 預清潔
• RTA
• 剝離/灰化
• 刻蝕
• 植入源
• HDP CVD
• RTP
• SACVD
• MCVD
• PECVD
• LPCVD
• ALD

有關任何特定應用條件下 iH 系統穩定性的建議，請與 Edwards 聯系。

功能和優勢

• 優化了設施消耗。
• 無需預防性維護。
• 懸臂軸和特殊的異型轉子便于顆粒的處理。
• 在節省電機功率的同時提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩定性。
• 耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
• 較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
• 整體式軸桿無需使用電機聯結器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積。

技術數據

  
所有數字均為無氣鎮時的典型值。

蘇州昆山太倉無錫上海張家港吳江常熟鎮江常州愛德華edwards半導體真空泵、iH160干式真空泵維修

揚州泰州南通南京啟東海門如皋海門海安如東宿遷愛德華edwards半導體真空泵、iH160干式真空泵維修

徐州合肥蕪湖杭州湖州溫州臺州衢州紹興金華寧波愛德華edwards半導體真空泵、iH160干式真空泵維修

余姚福州廈門泉州深圳廣州珠海廣州惠州通州桂林愛德華edwards半導體真空泵、iH160干式真空泵維修

南寧南昌贛州武漢成都重慶荊州太原蘭州烏魯木齊愛德華edwards半導體真空泵、iH160干式真空泵維修