輕量、緊湊、銷量高，低溫泵的標準。適用于實驗裝置與小型生產裝置。可以多臺運行（大3臺）。可以達到超高真空（10-8Pa以下）。日本愛發科標準低溫真空泵CRYO-U8H維修保養

能發揮4型的低溫泵的高排氣特性。高排氣速度對于排氣效率與生產性提高都能做出貢獻。特別適用在半導體制造的濺射工藝裝置和小規模的裝置上。1臺壓縮機可以支持4臺低溫泵同時運作。可以按照用途的不同進行設計、制作。日本愛發科標準低溫真空泵CRYO-U6H維修保養

特點輕量、緊湊，在標準品種尺寸小。適用於實驗室研究室的小型真空設備中。特別適用在半導體制造的濺射工藝裝置和小規模的裝置上。可以多臺運行（大3臺）。可以達到超高真空（10-8Pa以下）。日本愛發科標準低溫真空泵CRYO-U4H維修

ULVAC的PBL型油擴散噴射泵運用了長年的研究成果與豐富的製造經驗所設計而成的。運用到了眾多高真高空設備中，它的實用性得到了非常高的評價。愛發科油擴散噴射真空泵 PBL系列維修保養

ULVAC的ULK型油擴散泵運用了長年的研究成果與豐富的製造經驗所設計而成的。運用到了眾多高真高空設備中，它的實用性得到了非常高的評價。愛發科油擴散真空泵PFL系列PFL-22維修保養